機械零件加工主要有精車、精鏜、精銑、精磨和研磨等工藝。

①精車和精鏜：飛行器大多數精密的輕合金（鋁或鎂合金等）零件多采用這種方法加工。一般用天然單晶金剛石刀具,刀刃圓弧半徑小于0.1微米。在高精度車床上加工可獲得1微米的精度和平均高度差小于0.2微米的表面不平度,坐標精度可達±2微米。

②精銑：用于加工形狀復雜的鋁或鈹合金結構件。依靠機床的導軌和主軸的精度來獲得較高的相互位置精度。使用經仔細研磨的金剛石刀頭進行高速銑切可獲得 的鏡面。

③精磨：用于加工軸或孔類零件。這類零件多數采用淬硬鋼，有很高的硬度。大多數高精度磨床主軸采用靜壓或動壓液體軸承，以保證高穩定度。磨削的極限精度除受機床主軸和床身剛度的影響外，還與砂輪的選擇和平衡、工件中心孔的加工精度等因素有關。精磨可獲得 1微米的尺寸精度和0.5微米的不圓度。

④研磨:利用配合件互研的原理對被加工表面上不規則的凸起部位進行選擇加工。磨粒直徑、切削力和切削熱均可 控制，因而是精密加工技術中獲得 精度的加工方法。飛行器的精密伺服部件中的液壓或氣動配合件、動壓陀螺馬達的軸承零件都采用這種方法加工,以達到0.1甚至0.01微米的精度和0.005微米的微觀不平度。